GB/T 43894.1-2024 半导体晶片近边缘几何形态评价 第1部分：高度径向二阶导数法（ZDD）.pdf

标准详情

• 标准名称：半导体晶片近边缘几何形态评价 第1部分：高度径向二阶导数法（ZDD）
• 标准编号：GB/T 43894.1-2024
  替代标准号：
• 标准类别：
  文件格式：.pdf
• 文件大小：511.46 KB
  文件页数：11 页
• 发布日期：2024-04-25
  实施日期：2024-11-01
• 中国标准分类号：H21
  国际标准分类号： 77.040
• 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  批准发布部门：