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GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语.pdf

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标准详情

标准名称：集成电路制造设备术语
标准编号：GB/T 40577-2021
替代标准号：
标准类别：
文件格式：.pdf
文件大小：3.30 MB
文件页数：56 页
发布日期：2021-10-11
实施日期：2022-05-01
中国标准分类号：L95
国际标准分类号： 31.220
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：

集成电路制造设备术语标准截图：

集成电路制造设备术语

资源简介

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