GB/T 40566-2021 流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法.pdf

标准详情

• 标准名称：流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法
• 标准编号：GB/T 40566-2021
  替代标准号：
• 标准类别：
  文件格式：.pdf
• 文件大小：570.65 KB
  文件页数：9 页
• 发布日期：2021-10-11
  实施日期：2022-05-01
• 中国标准分类号：H82
  国际标准分类号： 29.045
• 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  批准发布部门：