GB/T 39145-2020 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法.pdf

标准详情

• 标准名称：硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
• 标准编号：GB/T 39145-2020
  替代标准号：
• 标准类别：
  文件格式：.pdf
• 文件大小：662.71 KB
  文件页数：8 页
• 发布日期：2020-10-11
  实施日期：2021-09-01
• 中国标准分类号：H17
  国际标准分类号： 77.040
• 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  批准发布部门：