标准详情
- 标准名称：硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法
- 标准编号：GB/T 38976-2020
- 替代标准号：
- 标准类别：
- 文件格式：.pdf
- 文件大小：464.03 KB
- 文件页数：6 页
- 发布日期：2020-07-21
- 实施日期：2021-06-01
- 中国标准分类号：H17
- 国际标准分类号： 77.040
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 批准发布部门：
GB/T 38976-2020 硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法.pdf
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