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GB/T 38866-2020 电子工业用二氯硅烷.pdf

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标准详情

标准名称：电子工业用二氯硅烷
标准编号：GB/T 38866-2020
替代标准号：
标准类别：
文件格式：.pdf
文件大小：927.18 KB
文件页数：13 页
发布日期：2020-07-21
实施日期：2021-02-01
中国标准分类号：G86
国际标准分类号： 71.100.20
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：

电子工业用二氯硅烷标准截图：

电子工业用二氯硅烷

资源简介

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