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GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型.pdf

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标准详情

标准名称：含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
标准编号：GB/T 37959-2019
替代标准号：
标准类别：
文件格式：.pdf
文件大小：2.80 MB
文件页数：18 页
发布日期：2019-08-30
实施日期：2020-03-01
中国标准分类号：J07
国际标准分类号： 35.240.50
技术归口：全国自动化系统与集成标准化技术委员会
批准发布部门：

含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型标准截图：

含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

资源简介

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