标准详情
- 标准名称:氮化镓激光剥离设备
- 标准编号:GB/T 37466-2019
- 替代标准号:
- 标准类别:
- 文件格式:.pdf
- 文件大小:1.19 MB
- 文件页数:17 页
- 发布日期:2019-06-04
- 实施日期:2019-10-01
- 中国标准分类号:L95
- 国际标准分类号: 31-550
- 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 批准发布部门:

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