标准详情
- 标准名称:硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
- 标准编号:GB/T 24581-2022
- 替代标准号:
- 标准类别:
- 文件格式:.pdf
- 文件大小:835.68 KB
- 文件页数:9 页
- 发布日期:2022-03-09
- 实施日期:2022-10-01
- 中国标准分类号:H17
- 国际标准分类号: 77.040
- 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 批准发布部门:

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