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GB/T 21287-2021 电子特气三氟化氮.pdf

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标准详情

标准名称：电子特气三氟化氮
标准编号：GB/T 21287-2021
替代标准号：
标准类别：
文件格式：.pdf
文件大小：827.43 KB
文件页数：12 页
发布日期：2021-10-11
实施日期：2022-05-01
中国标准分类号：G86
国际标准分类号： 71.100.20
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：

电子特气三氟化氮标准截图：

电子特气三氟化氮

资源简介

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